英國牛津 等離子設備 - Plasmalab System133系列產(chǎn)品
System133是在System100基礎上開發(fā)的大腔體產(chǎn)品,可以適合諸如8英寸以上樣片的處理。大真空腔和大預真空鎖的設計,充分考慮到了大直徑產(chǎn)品的生產(chǎn)。
Plasmalab System133-ICP等離子設備介紹
ICP(高密度等離子體)配置產(chǎn)品,可以最多一批處理12片2"樣片
System133-ICP等離子設備
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