英國牛津 等離子設備 - Plasmalab System100系列產品
Plasmalab System100是當今世界上半導體光電子行業(yè)的主流機型,預真空鎖(Load Lock)的配置使我們客戶的產品質量得到了很大的提高。
該設備同樣為模塊化設計,可以根據(jù)客戶的需要配置成ICP模式、PECVD模式和多真空腔模式,同時載片量也可以根據(jù)需求從一次處理單片2"直到一次處理7片2"。
Plasmalab System100系列 - 多真空腔系統(tǒng)配置產品介紹
模塊化設計的Plasmalab System100系統(tǒng),同時也可以配置成片盒到片盒(Cassette to Cassette)的多真空腔機型,從而可實現(xiàn)真正意義上的大規(guī)模生產。
System100多真空腔
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