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TY10顯微式激光測(cè)振儀MSA-500ZX21

TY10

顯微式激光測(cè)振儀MSA-500

ZX21
顯微式激光測(cè)振儀MSA-500
訂 貨 號(hào):zy389382 品    牌:德國(guó)Polytec 產(chǎn)    地:中國(guó) 市 場(chǎng) 價(jià): 折 扣 價(jià): 發(fā)貨周期:現(xiàn)貨或5天內(nèi)
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全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀
   
                 
  
Polytec多功能全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀,是一款具有更高精度、更高測(cè)量速度、更簡(jiǎn)捷操作的數(shù)據(jù)采集與處理的可視化快速測(cè)振工具。

   掃描式激光測(cè)振儀無(wú)需任何準(zhǔn)備工作,只需一個(gè)人,即可在幾分鐘內(nèi)完成上千個(gè)點(diǎn)的測(cè)量,并立即顯示測(cè)量結(jié)果,極大的提高了工作效率。
  


                         
     掃描式激光測(cè)振儀由掃描式光學(xué)頭、控制器、連接箱和數(shù)

   據(jù)管理系統(tǒng)等組成,用戶可在目標(biāo)視頻圖像上定義任意測(cè)量

   區(qū)域和測(cè)量點(diǎn),并由數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)控制自動(dòng)完成掃描測(cè)量并

   顯示振型。
MSA-500 顯微式激光測(cè)振儀  
    MSA-500顯微式激光測(cè)振儀是一款全新的集多功能于一身的測(cè)量工具,可精確測(cè)量MEMS三維動(dòng)態(tài)特性。

    • 利用激光多普勒測(cè)振技術(shù)測(cè)量物體面外振動(dòng)特性
    • 利用顯微鏡視頻閃頻技術(shù)測(cè)量物體面內(nèi)振動(dòng)特性
    • 通過(guò)白光干涉測(cè)量物體形貌特性
    • 結(jié)合MSA-500和MEMS探測(cè)站來(lái)測(cè)量MEMS設(shè)備振動(dòng)特性
MSA-500 顯微式激光測(cè)振儀
MSA-500顯微式激光測(cè)振儀是一款用于結(jié)構(gòu)振動(dòng)和諸如MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)微觀設(shè)備的最理想的可視化振動(dòng)測(cè)量分析工具。通過(guò)整合顯微鏡、頻閃視頻攝像機(jī)和白光干涉儀,MSA-500是集成了形貌分析等多功能于一體的測(cè)量工具。通過(guò)嵌入MEMS設(shè)計(jì)和循環(huán)測(cè)試,MSA-500可實(shí)現(xiàn)3D動(dòng)態(tài)特性測(cè)量和靜態(tài)數(shù)據(jù)響應(yīng)功能,縮短了產(chǎn)品設(shè)計(jì)周期,擴(kuò)大了產(chǎn)品功能和提供了產(chǎn)品性能,節(jié)約了產(chǎn)品成本。

 

 

MSA-500 顯微式激光測(cè)振儀 新特征

 

  隨著客戶對(duì)越來(lái)越多的MEMS期間的振動(dòng)測(cè)量,Polytec通過(guò)引入這些先進(jìn)的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)逐步提升了MSA-500顯微式激光測(cè)振儀優(yōu)異的產(chǎn)品性能。

  MSA-500顯微式激光測(cè)振儀采用了最先進(jìn)的測(cè)量技術(shù),可實(shí)現(xiàn)對(duì)微系統(tǒng)的動(dòng)靜態(tài)特性的振動(dòng)測(cè)量。掃描式激光多普勒測(cè)振儀和視頻頻閃顯微鏡能夠快速測(cè)量面內(nèi)和面外物體的振動(dòng)特性,并且測(cè)量可達(dá)數(shù)兆赫茲。白光掃描式測(cè)振儀可用于納米級(jí)形貌分析測(cè)量。

新特征:

幾何掃描單元
新的環(huán)保LED光源和掃描控制單元整合,更利于形貌性能的測(cè)量,容易操作且具備更高的分辨率
更多選擇的顯微鏡目鏡和更長(zhǎng)的工作距離
支持外部信號(hào)觸發(fā)

 

一體化解決方案

 

Polytec杰出的顯微式激光測(cè)振儀

   MSA-500顯微式激光測(cè)振儀利用非接觸式激光技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行形貌和振動(dòng)的三維特性測(cè)量:快速、寬帶和面外動(dòng)態(tài)特性;顯微式視頻閃頻的面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量;白光干涉的高分辨率形貌測(cè)量。所有的技術(shù)都被嵌入到一個(gè)緊湊堅(jiān)固可靠的一體化測(cè)量系統(tǒng)中。

卓越的動(dòng)態(tài)測(cè)量特性與單一的技術(shù)解決方案

   兩種相輔相成的測(cè)量技術(shù)的結(jié)合為微結(jié)構(gòu)的振動(dòng)測(cè)量提供了更加優(yōu)越的性能技術(shù)。 例如,它能迅速可視化測(cè)量,可測(cè)量系統(tǒng)的共振和瞬態(tài)特性,能提高整體測(cè)量效率。當(dāng)需要將測(cè)振系統(tǒng)加載到MEMS生產(chǎn)環(huán)境中的時(shí)候,這個(gè)技術(shù)的整合就顯得尤為重要。單一技術(shù)解決方案諸如ESPI,白光干涉和位相移動(dòng)干涉技術(shù)為微結(jié)構(gòu)的振動(dòng)測(cè)量提供了更高的技術(shù)方案。

無(wú)需先驗(yàn)信息即可測(cè)量所有機(jī)械共振

   使用寬帶激勵(lì),高靈敏度的激光多普勒技術(shù)能夠在不需要先驗(yàn)信息的情況下迅速測(cè)量所有機(jī)械共振(面內(nèi)和面外),隨后,通過(guò)激光測(cè)振儀,視頻閃頻技術(shù)可獲得面內(nèi)共振的精確振幅和相位信息。

 

特征

 

快速識(shí)別可視化系統(tǒng)共振和靜態(tài)形貌特性 集成顯微鏡,具有最好的橫向分辨率和最清晰的圖片質(zhì)量 可與MEMS或探測(cè)站整合使用 簡(jiǎn)單直觀操作 測(cè)量周期短,大大提供產(chǎn)品生產(chǎn)效率 加速產(chǎn)品研發(fā),減少產(chǎn)品上市時(shí)間

 

杰出的一體化技術(shù)功能

 

面外振動(dòng)測(cè)量的掃描式多普勒激光測(cè)振儀

   在微電機(jī)共振測(cè)量?jī)x器的發(fā)展過(guò)程中,激光測(cè)振儀是一款非常精確的速度和位移測(cè)量的光學(xué)儀器,它是基于激光多普勒原理技術(shù)發(fā)展而來(lái)的。通過(guò)移動(dòng)激光到測(cè)量點(diǎn),掃描式激光測(cè)振儀能夠提供被測(cè)物體全面的振動(dòng)特性。

優(yōu)點(diǎn)

面外振動(dòng)信息反饋,全面的振動(dòng)測(cè)量 時(shí)域和頻域數(shù)據(jù)顯示,簡(jiǎn)化的瞬態(tài)響應(yīng)信號(hào) 測(cè)量點(diǎn)達(dá)512 x 512個(gè) 多種輸入輸出接口 激光點(diǎn)極細(xì),可測(cè)量微系統(tǒng)結(jié)構(gòu) 通過(guò)激光調(diào)光器可使測(cè)量環(huán)境最優(yōu)化

 

適用于面內(nèi)測(cè)量的視頻閃頻顯微測(cè)量

   使用視頻閃頻技術(shù)可使高頻測(cè)量、面?zhèn)日駝?dòng)測(cè)量更加精確。使用視頻閃頻和數(shù)字影像,可以實(shí)時(shí)的撲捉快速運(yùn)動(dòng)物體的振動(dòng)特性。這樣可以確保測(cè)量精度和可視化實(shí)時(shí)測(cè)量分析。

優(yōu)點(diǎn)

面內(nèi)振動(dòng)的視頻閃頻測(cè)量范圍可達(dá)1MHz 納米級(jí)分辨率時(shí)域位移測(cè)量 內(nèi)置信號(hào)發(fā)生器可測(cè)量瞬態(tài)特性等 自動(dòng)多頻段處理


適合于形貌測(cè)量的白光干涉技術(shù)

  MEMS設(shè)備的動(dòng)態(tài)參數(shù)能夠直接關(guān)系到產(chǎn)品生產(chǎn)的幾何技術(shù)參數(shù)。當(dāng)內(nèi)嵌一個(gè)形貌測(cè)量系統(tǒng),MSA-500測(cè)量系統(tǒng)可以完成所有的測(cè)量工作。高空間分辨率的數(shù)據(jù)使得對(duì)形狀、彎曲度、平面度和粗糙度測(cè)量有了強(qiáng)大的測(cè)量分析能力。用戶可以選擇不同的數(shù)據(jù)處理類型。

優(yōu)點(diǎn)

快捷,納米級(jí)分辨率的非接觸式3-D形貌特性測(cè)量 適用于形貌和表面特性分析的功能強(qiáng)大的TMS 軟件 2-D和3-D視頻演示
MSA 系統(tǒng)及組成

 

MSA 光學(xué)單元

   MSA光學(xué)單元提供了六種結(jié)構(gòu),允許特殊測(cè)量、面內(nèi)測(cè)量、面外測(cè)量或者形貌等測(cè)量。 參考系統(tǒng)型號(hào),光學(xué)單元包含MSA-400測(cè)量顯微鏡頭和顯微光學(xué)單位以及單點(diǎn)(Polytec OFV-551)或者差分式 。在所有的結(jié)構(gòu)中,MSA-500系統(tǒng)可以加載顯微光學(xué)單元、LED照明單元和循環(huán)掃描攝像機(jī)(可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控)以使整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的性能達(dá)到最優(yōu)化。

MSA 處理部件

   MSA-500處理單元包含了數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)(MSA軟件),MSA-E-500連接箱,和OFV-5000控制器等。

   MSA軟件包含了數(shù)據(jù)采集與處理的多種方法:

Polytec掃描式軟件(PSV)提供了快捷安裝與操作的面外測(cè)量處理方法,簡(jiǎn)化了數(shù)據(jù)采集與處理,并提提供了杰出的3-D 數(shù)據(jù)可視化圖像。 面內(nèi)測(cè)振軟件(PMA)提供了面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量的數(shù)據(jù)采集與處理,同時(shí)提供了可視化動(dòng)態(tài)特性。 形貌測(cè)振軟件 (TMS) 提供了數(shù)據(jù)采集、處理、2-D 和 3-D 演示功能

 

MSA 結(jié)構(gòu)

   MSA-500顯微式激光測(cè)振儀提供了許多開放式功能模塊,可以為各種不同領(lǐng)域的應(yīng)用配置合適的系統(tǒng)。Polytec的測(cè)振儀還提供了單一功能測(cè)量系統(tǒng)與多功能測(cè)量系統(tǒng)一體化結(jié)構(gòu)配置。對(duì)于面外振動(dòng)測(cè)量,可以選族單點(diǎn)式與差分式測(cè)量系統(tǒng)。Polytec的測(cè)振儀除了提供標(biāo)準(zhǔn)的1.5MHz頻率測(cè)量外,還提供了可選的24MHz測(cè)量范圍的高頻采集與高頻波形觸發(fā)功能。

 

MSA 設(shè)備定位與配置

   光學(xué)頭可以安裝在Polytec的獨(dú)立的工作站或者其他探測(cè)站上。Polytec的設(shè)備也可以獨(dú)立的被安裝在工作站中,并且還可以安裝在用戶的光學(xué)平臺(tái)上。MSA 處理單元可以安裝在可選的一個(gè) 19’的連接柜中,并且還可以把控制器、數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)、連接箱和電纜或者其他相近的系統(tǒng)擴(kuò)展單元嵌入連接柜中。同時(shí)Polytec的設(shè)計(jì)使得其電子元器件與工作表面保持著一定距離,這樣可以防止周圍環(huán)境對(duì)被測(cè)物體振動(dòng)所產(chǎn)生任何影響。

 

MEMS 工作站


   MSA-400的安裝孔相當(dāng)于Mitutoyo FS70-L-S (short base)支撐板,這樣就能夠方便把它安裝到更多探測(cè)站中使用。通過(guò)把Polytec的顯示式激光測(cè)振儀與MEMS工作站整合,用戶可以把更多的精力用于專注于MEMS的動(dòng)態(tài)特性分析上。

 

MSA-500 顯微激光測(cè)振儀

型   號(hào)

測(cè)  量  方  式

面外振動(dòng)測(cè)量

面內(nèi)測(cè)量

形貌測(cè)量

單點(diǎn)式

差分式

24 MHz

MSA-500-M2

x

 

 

 

 

MSA-500-M2-D

x

x

 

 

 

MSA-500-M2-20

x

 

x

 

 

MSA-500-M2-20-D

x

x

x

 

 

MSA-500-P

 

x

 

MSA-500-PM2

x

 

 

x

 

MSA-500-PM2-D

x

x

 

x

 

MSA-500-PM2-20

x

 

x

x

 

MSA-500-PM2-20-D

x

x

x

x

 

MSA-500-TM2

x

 

 

 

x

MSA-500-TM2-D

x

x

 

 

x

MSA-500-TM2-20

x

 

x

 

x

MSA-500-TM2-20-D

x

x

x

 

x

MSA-500-TP

 

 

 

x

x

MSA-500-TPM2

x

 

 

x

x

MSA-500-TPM2-D

x

x

 

x

x

MSA-500-TPM2-20

x

 

x

x

x

MSA-500-TPM2-20-D

x

x

x

x

x

 

遵從標(biāo)準(zhǔn)

Electrical safety

IEC/EN 61010

EMC

IEC/EN 61326;

Emission: FCC Class A, IEC/EN 61000-3-2 61000-3-3

Immunity: IEC/EN 61000-4-2 to 61000-4-6 IEC/EN 61000-4-11

Laser safety

IEC/EN 60825-1 (CFR 1040.10, CFR 1040.11)

 

MSA-500 顯微激光測(cè)振儀 結(jié)構(gòu)參數(shù)

 

MSA-I-500光學(xué)頭

MSA-E-500連接箱

MSA-W-500數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)

電源提供

MSA-E-401連接箱提供

100 VAC … 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz; max. 60 W

100 VAC … 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz; max. 350 W

尺寸大小
[WxLxH]

請(qǐng)查看
圖一和圖二

450 mm × 355 mm × 135 mm

450 mm x 550 mm x 190 mm

重量

10.4 kg

8 kg

18 kg

工作溫度

+5 °C … +40 °C

存儲(chǔ)溫度

-10 °C … +65 °C

相對(duì)濕度

Max. 80%, 無(wú)冷凝


注:OFV-5000控制器和OFV-551/552光纖式光學(xué)頭配套使用可用于面外測(cè)量。


                                   圖一


                                    圖二

 

 

MSA-500 顯微式激光測(cè)振儀 系統(tǒng)組成和附件

MSA-O-500 光學(xué)單元

MSA-O-500-P

MSA-O-500-TP1

帶視頻閃頻功能的用于面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量的顯微鏡頭

MSA-O-500-S

MSA-O-500-TS1)

帶一對(duì)用于掃描振動(dòng)測(cè)量的掃描鏡和用于面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量的視頻頻閃功能的顯微鏡頭

OFV-551 光纖式光學(xué)頭

MSA-O-500-D

MSA-O-500-TD1)

帶用于用于面內(nèi)運(yùn)動(dòng)測(cè)量的視頻頻閃系統(tǒng)和兩個(gè)掃描鏡(一個(gè)用于掃描式振動(dòng)測(cè)量,另外一個(gè)用于靜態(tài)參考信號(hào),參考信號(hào)可用前面板的兩個(gè)控制按鈕進(jìn)行定位)的顯微鏡頭

OFV-552 光纖式差分光學(xué)頭

1) For topography measurements, equipped with an additional piezo-objective positioning stage interference objective

 

光學(xué)單元

攝像機(jī)

循序掃描, 1.4 Mpixel (1392 x 1040), IEEE 1394 接口

光源

LED,525nm

激光安全等級(jí) 1)

Class 2 (< 1 mW 可視)

光斑直徑 1)

0.9 μm ( 50X 顯微鏡)

掃描點(diǎn)

最大掃描點(diǎn):512 x 512

振動(dòng)測(cè)量顯微鏡頭 3)

 

放大倍率

工作距離 (mm)

視野范圍(μm x μm)

分辨率 (μm)

A-MOB-010X

10X

30.5

900 x670

1.6

可選鏡頭

A-MOB-002X

2X

34.0

4500 x 3350

8.5

A-MOB-005X

5X

37.5

1800 x 1340

3.6

A-MOB-020X

20X

20.0

450 x 335

?1.2

A-MOB-050X

50X

17.0

180 x134

0.85

A-MOB-03x6

3.6x

53.0

2500 x 1861

1.792

1) Only systems including scanning vibrometer

2) Only systems including topography measurement

3) Only systems including scanning vibrometer /or in-plane motion measurement

 

形貌測(cè)量鏡 2)


放大倍數(shù)
x-factor
孔徑 NA 視場(chǎng)
mm x mm
間距 mm 像素分辨率
μm
Mirau (Nikon CF Plan) interference objective 10
0.30

0.90 x 0.67

7.40

0.65

Optional Michelson objectives (Nikon CF Plan) 2.5 0.075 3.59 x 2.68 10.30 2.58
5 0.13 1.80 x 1.34 9.30 1.29
Optional Mirau objectives 20 0.40 0.449 x 0.335 4.70 0.323
50 0.55 0.180 x 0.134 3.70 0.129
Michelson objective
(Polytec Ao MI LD)
4
0.1
2.24 x 1.68
>30
1.61

 

OFV-5000 控制器

版本

標(biāo)準(zhǔn)
MSA-500-…-M2 (1.5 MHz)

高頻 MSA-500-…-M2-20

HF 速度

HF 位移

解碼卡

VD-02: 寬帶速度解碼卡

VD-06: 高精密數(shù)字式速度解碼卡

VD-02: 寬帶速度解碼卡

VD-05: 10MHz速度解碼卡

VD-02: 寬帶速度解碼卡

DD-300: 24MHz位移解碼卡

 

MSA-E-401 連接箱

功能

- 連接控制器和數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)

- 激勵(lì)信號(hào)放大等功能

- 同步信號(hào)觸發(fā)

數(shù)字接口

RS-232, USB和Focus控制

信號(hào)輸入

振動(dòng)和參考信號(hào)模擬輸入:±200mV ... ±10V
觸發(fā)和門TTL輸入

信號(hào)輸出

模擬輸出,SYNC和AUX的TTL輸出

激勵(lì)

內(nèi)置放大器, 10 V / 50 mA 振幅峰值

 

MSA-W-400 數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)

工控機(jī)

工業(yè)PC, 2.6 GHz, 1 GB RAM, 120 GB HDD

光驅(qū)

DVD (8X) CD (32x) 數(shù)據(jù)記錄與存取

視頻板卡

圖形高分辨率

IEEE 1394

適用于視頻信號(hào)采集

數(shù)據(jù)傳輸

Ethernet LAN

操作系統(tǒng)

Microsoft Windows XP (Windows 2000 )

面外數(shù)據(jù)采集硬件

型號(hào)

標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)
MSA-500-…-M2

高頻測(cè)量結(jié)構(gòu)
MSA-500-…-M2-20

通道

2 (4, PSV-S-VDD 可選)

2

分辨率

有效值: 12...16 bit (依據(jù)帶寬)

12 bit

速度范圍

±200 mV ... ±10 V

±200 mV ... ±10 V

觸發(fā)

外部觸發(fā)或者模擬觸發(fā),后觸發(fā)和前觸發(fā)

外部觸發(fā)或者模擬觸發(fā),后觸發(fā)和前觸發(fā)

門輸入

適用于相關(guān)門輸入測(cè)量

-

FFT 頻率范圍

DC ... 1 MHz; DC ... 2 MHz (可選)

DC … 40 MHz

激勵(lì)

內(nèi)部信號(hào), 高達(dá)40MHz,最大輸出電壓:±10V(offset可調(diào))

面內(nèi)數(shù)據(jù)采集硬件

攝像機(jī)

掃描攝像機(jī), 1.4 Mpixel (1392 x 1040), IEEE1394接口

激勵(lì)

內(nèi)部信號(hào),高達(dá)2MHz,最大輸出電壓:±10V(offset可調(diào))

 

可選附件

A-STD-BAS
基座

可安裝在光學(xué)平臺(tái)上

尺寸: 342 mm x 430 mm x 350 mm

重量: 8 kg

A-STD-BBO
標(biāo)準(zhǔn)基座

標(biāo)準(zhǔn)基座(帶氣墊)
工作臺(tái)孔徑有公制或英制可選

尺寸: 500 mm x 750 mm x 590 mm

重量: 70 kg

A-STD-TAB
工作臺(tái)

包含基座,顯示器支架,BNC接口和氣墊
工作臺(tái)孔徑有公制或英制可選

尺寸: 900 mm x 900 mm x 1325 mm
桌面高度:910mm
重量: 175 kg

支持壓縮空氣: 6.5 bar … 12 bar; 流量: max. 1120 l/min

A-CAB-BAS
系統(tǒng)連接柜

A-CAB-EXT
系統(tǒng)連接柜擴(kuò)展單元

 

19’大小,可以安裝數(shù)據(jù)管理單元,控制器,連接箱

尺寸: 555 mm x 630 mm x 555 mm

重量: 65 kg

擴(kuò)展單元(右圖): 方便優(yōu)異的解決方案
為在光學(xué)平臺(tái)提供儀器安裝的獨(dú)立空間

 

 

 
MSA-500 顯微式激光測(cè)振儀 性能參數(shù)
面外測(cè)量

型號(hào)

標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)
MSA-500-…-M2

高頻測(cè)量結(jié)構(gòu)
MSA-500-…-M2-20

標(biāo)準(zhǔn)

帶 PSV-S-VDD 1)

HF 速度

HF 位移

最大測(cè)量頻率

1.5 MHz (2MHz)2)

2 MHz

10 MHz

24 MHz

最大測(cè)量位移

-

arbitrary

-

± 75 nm

位移分辨率

-

< 0.4 pm/Hz

-

<0.1 pm/Hz 3)

最大測(cè)量速度

± 10 m/s

速度分辨率 (rms)4)

< 1 μm/s

1) PSV-S-VDD數(shù)字式解調(diào)(可選)

2) PSV-S-BW 2M 帶寬擴(kuò)充(可選)

3) 100% 放射率

4) 分辨率與測(cè)振儀掃描單元相關(guān)。

 

面內(nèi)測(cè)量

頻率范圍

0.001 Hz …1 MHz

最大速度

> 0.1 m/s … 10 m/s (magnification dependent)

振幅和分辨率性能

放大倍數(shù)

5X

10X

20X

40X

50X

100X

峰峰值 @ 2 kHz

1795 μm

897 μm

448 μm

224 μm

179 μm

89 μm

位移分辨率

1 nm

分辨率(時(shí)間)

100 ns

相位精度

0.16 mrad (0.009°) @ 1 kHz; 0.016 rad (0.9°) @ 100 kHz;
0.16 rad (9°) @ 1 MHz

輸出

位移信號(hào),信號(hào)圖片,運(yùn)行軌跡

 

 

形貌測(cè)量
  10 nm 87 nm
  光滑表面 粗糙平面 光滑表面 粗糙平面
分辨率 (RMS) 35 pm 350 pm 45 pm 1.2 nm
信號(hào)分辨率 (RMS) 195 pm 3.65 nm 300 pm 14 nm
可靠性 250 pm 2.5 nm 500 pm 20 nm
平均偏離 550 pm 7.5 nm 2 nm 50 nm
可靠性 0.07 %
測(cè)量不確定度 0.50 %

 

MSA-500 顯微式激光測(cè)振儀 軟件特征

面外測(cè)量

數(shù)據(jù)采集

視頻顯示

實(shí)時(shí)、全視野被測(cè)物體視頻圖像,直觀顯示掃描區(qū)域和掃描測(cè)量點(diǎn)

激光定位

通過(guò)鼠標(biāo)或拖動(dòng)鼠標(biāo)可實(shí)時(shí)激光定位

掃描定位

APS,測(cè)量點(diǎn)可達(dá):512 x 512,測(cè)量點(diǎn)可以通過(guò)鼠標(biāo)在視頻圖像中直接定義??梢噪S意定義掃描區(qū)域(包含單點(diǎn))。
掃描網(wǎng)格可從CAD或PE或先前的振動(dòng)測(cè)量輸入

控制

利用RS-232接口通過(guò)軟件控制測(cè)量參數(shù)

顯示

同步顯示實(shí)時(shí)視頻圖像,精確激光點(diǎn)位置,全部掃描區(qū)域,多種信號(hào)測(cè)量分析結(jié)果

波形激勵(lì)

正弦,周期等任意信號(hào)激勵(lì)

快速掃描

50點(diǎn)/s

時(shí)域數(shù)據(jù) (可選)

時(shí)域信號(hào)采集,時(shí)域信號(hào)均值,時(shí)域動(dòng)態(tài)信號(hào)

門輸入

適用于間斷掃描測(cè)量

數(shù)據(jù)有效性

通過(guò)信號(hào)增強(qiáng)模式檢查每個(gè)測(cè)量點(diǎn)的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。
測(cè)量數(shù)據(jù)有效性: 最優(yōu)(僅SE); 有效;A/D過(guò)載

觸發(fā)

自動(dòng)或手動(dòng),上升沿或下降沿
觸發(fā)來(lái)源:外部觸發(fā)或任意測(cè)量信號(hào)觸發(fā)

FFT 線

標(biāo)準(zhǔn)6400線;可選12800線;可選Zoom FFT

窗口函數(shù)

Rectangular, Hamming, Hanning, Flat top, Blackman Harris, Bartlett, Exponential

數(shù)據(jù)處理

顯示

彩色/灰色,整體/部分,3D圖像,CCD視屏圖像(靜態(tài)或動(dòng)態(tài)),所有測(cè)量點(diǎn)的平均值和測(cè)量結(jié)果可視化等

數(shù)據(jù)傳送

ASCII,UFF,ME’Scope(可選)

圖像

超過(guò)20種不同的圖像格式(AVI, JPEG, BMP, TIFF...)

數(shù)據(jù)處理

幅值,實(shí)部,虛部,位相,F(xiàn)RF,H1, H2,auto power, cross power等

添增功能

利用VB可自行嵌入功能程序

 

面內(nèi)測(cè)量

數(shù)據(jù)采集

工作原理

采集測(cè)量結(jié)果、視頻等數(shù)據(jù),利用相關(guān)運(yùn)算分析處理

濾波控制

脈沖控制 (間斷, 脈沖時(shí)間)

數(shù)據(jù)采集

通過(guò)接口利用采集卡實(shí)現(xiàn)視頻閃頻的數(shù)據(jù)采集

激勵(lì)

內(nèi)置信號(hào)發(fā)生器,正弦或脈沖信號(hào)激勵(lì),激勵(lì)信號(hào)可達(dá)1MHz

數(shù)據(jù)處理

視頻顯示

實(shí)時(shí)、穩(wěn)定的被測(cè)物體可視化顯示

顯示

位移、速度和頻率等顯示 所有圖像可利用光標(biāo)控制,圖像可以進(jìn)行放大、縮小、動(dòng)漫或其他功能處理

數(shù)據(jù)傳送

圖像可被保存為圖像格式或者ASCII文件,也可以保存并輸出AVI文件

 

形貌測(cè)量

數(shù)據(jù)采集

工作原理

通過(guò)物體表面的激光干涉頻移測(cè)量物體的形貌特性。

數(shù)據(jù)采集

視頻圖像采集

數(shù)據(jù)處理

數(shù)據(jù)處理

平均,高低通濾波等

數(shù)據(jù)顯示

- 面顯示: 2-D, 3-D演示,等值線演示

- 輪廓顯示: 圖像,角度、高度、半徑幾何數(shù)據(jù)等多種顯示

數(shù)據(jù)傳送

圖像可以保存為多重格式輸出,測(cè)量數(shù)據(jù)可以輸出為ASCII文件

添增功能

利用VB可自行嵌入功能程序

MSA-500 幾何單元
MSA-500 照明單元
芯片測(cè)量分析
面外測(cè)量
面內(nèi)測(cè)量
形貌測(cè)量
標(biāo)準(zhǔn)支架
連接柜
含控制器,連接箱和控制器
MSA測(cè)量工作站
MSA SUSS探測(cè)站
 
對(duì)于MEMS設(shè)備(如導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車行業(yè)、航空航天、計(jì)算機(jī)和醫(yī)療等行業(yè)中的微型傳感器、微型激勵(lì)器等),設(shè)計(jì)者希望在產(chǎn)品更新中能設(shè)計(jì)出更先進(jìn)的高精密低成本產(chǎn)品。利用Polytec新產(chǎn)品顯微式激光測(cè)振儀對(duì)MEMS動(dòng)態(tài)振動(dòng)特性進(jìn)行的系統(tǒng)分析,可以快速提高產(chǎn)品性能,降低產(chǎn)品成本,加快產(chǎn)品上市時(shí)間。

 

MEMS 應(yīng)用成功案例

   

   很多如RF MEMS、光學(xué)網(wǎng)絡(luò)單元、微型反光鏡等MEMS設(shè)備,在產(chǎn)品開發(fā)中,都需要進(jìn)行開發(fā)設(shè)計(jì)、產(chǎn)品測(cè)試等過(guò)程,這時(shí),MSA顯微式激光測(cè)振儀可以提供以下測(cè)試功能:

MEMS器件的面內(nèi)和面外振動(dòng)特性

連續(xù)的頻域振動(dòng)特性

MEMS的故障分析以及可靠性測(cè)試

模型測(cè)試

瞬態(tài)時(shí)域特性

通過(guò)面外耦合檢測(cè)面內(nèi)響應(yīng)

通過(guò)瞬態(tài)運(yùn)動(dòng)特性定義激勵(lì)時(shí)間

MEMS運(yùn)動(dòng)特性分析

 

MEMS設(shè)備測(cè)量

 

   MEMS芯片測(cè)試是在低成本情況下為芯片包裝提供高性能和可靠性的重要保證,并且隨著技術(shù)的發(fā)展,MEMS芯片測(cè)量越來(lái)越顯得重要。MEMS設(shè)備測(cè)量依賴于壓力、光強(qiáng)和溫度等環(huán)境變化和頻率共振等MEMS設(shè)備內(nèi)部因素。今天,我們可以利用一個(gè)配備掃描式激光多普勒測(cè)振儀的半自動(dòng)化探測(cè)站來(lái)進(jìn)行簡(jiǎn)捷的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性測(cè)量。

MEMS分步重復(fù)測(cè)量

   MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)量包含了一系列的耗時(shí)和乏味的工作。在MEMS設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中嵌入整合一個(gè)包含激光多普勒測(cè)振儀的半自動(dòng)化探測(cè)站,可以對(duì)每個(gè)MEMS設(shè)備進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量分析,極大的提高了生產(chǎn)效率,整個(gè)控制過(guò)程完全由軟件控制,非常簡(jiǎn)捷實(shí)時(shí)。完整的MEMS測(cè)量系統(tǒng)(圖1A)包含了Polytec顯微式測(cè)振儀硬件和軟件,一個(gè)SUSS PA200探測(cè)臺(tái)(裝有顯微測(cè)量單元),探測(cè)站控制單元和SUSS ProberBench操作系統(tǒng) 。

   測(cè)量的第一步就是定位MEMS設(shè)備。當(dāng)完成定位時(shí),從軟件上將顯示出一個(gè)芯片圖像。第二步定義設(shè)置相關(guān)的振動(dòng)特性參數(shù)。為了對(duì)MEMS設(shè)備全面的測(cè)量,可以定義由6到9個(gè)測(cè)量點(diǎn)的網(wǎng)格測(cè)量區(qū)域(圖1B)。當(dāng)完成這兩步工作時(shí),就可以通過(guò)軟件對(duì)MEMS設(shè)備現(xiàn)實(shí)分步重復(fù)測(cè)量。對(duì)于每個(gè)薄膜,激光掃描測(cè)振儀將會(huì)在2到3秒時(shí)間內(nèi)完成全部測(cè)量(圖1C和圖1B) ,測(cè)量結(jié)果可與設(shè)備的相關(guān)數(shù)據(jù)一起保存。最后,MEMS設(shè)備的形貌和頻率等可以在軟件中全部顯示(圖1D)。

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顯微式激光測(cè)振儀MSA-500

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5.我們?yōu)殚w下提供保修TY10顯微式激光測(cè)振儀MSA-500售后維修服務(wù),提供后期技術(shù)支持.
6.閣下對(duì)TY10顯微式激光測(cè)振儀MSA-500使用方法等有需求時(shí),將為閣下找到顯微式激光測(cè)振儀MSA-500說(shuō)明書.
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