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TY10四探針測(cè)試儀0.0001~10000Ω.cmZX21

TY10

四探針測(cè)試儀0.0001~10000Ω.cm

ZX21
四探針測(cè)試儀0.0001~10000Ω.cm
訂 貨 號(hào):ZY054203 品    牌:國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)    地:中國(guó) 市 場(chǎng) 價(jià): 折 扣 價(jià): 發(fā)貨周期:現(xiàn)貨或5天內(nèi)
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北京中儀 提供四探針測(cè)試儀使用方法,滿足你不同地點(diǎn)的使用需求。

·該款數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備
·該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器
·儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果
·儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)
·本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試

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電阻率10(-4)~10(5)Ω.cm可擴(kuò)展
方塊電阻10(-3)~10(6)Ω/□可擴(kuò)展
電導(dǎo)率10(-5)~10(4)s/cm
電阻10(-4)~10(5)Ω
可測(cè)晶片厚度≤3mm
可測(cè)晶片直徑小尺寸140mmX150mm配S-2A型測(cè)試臺(tái)
可測(cè)晶片直徑標(biāo)準(zhǔn)尺寸200mmX200mm配S-2B型測(cè)試臺(tái)
可測(cè)晶片直徑大尺寸400mmX500mm配S-2C型測(cè)試臺(tái)
恒流源電流量程1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表量程及表示形式000.00~199.99mV
分辨力10μV
輸入阻抗>1000MΩ
精度±0.1% 
顯示四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示極性、超量程自動(dòng)顯示
四探針探頭基本指標(biāo)間距1±0.01mm
針間絕緣電阻≥1000MΩ
機(jī)械游移率≤0.3%
探針碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm
探針壓力5~16 牛頓(總力)
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)見探頭附帶的合格證
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差(按JJG508-87進(jìn)行)0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%
計(jì)算機(jī)通訊接口并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度:23±2℃
相對(duì)濕度≤65%
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