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SE500adv組合式橢偏儀迄今為止最簡單易用的橢偏儀
? SE 500adv結(jié)合橢偏測量和反射測量
? 可消除橢偏測量對透明膜厚度的周期不確定性
? 膜厚測量范圍可擴展至25000 nm.
? 激光波長632.8 nm
? 反射計光譜范圍450 nm-920 nm
? 光斑直徑80 μm
? 150 mm (z-tilt)樣品臺
? 角度計，可變?nèi)肷浣嵌?，步進5°
? LAN連接電腦

　　CER組合橢偏儀SE 500advanced可作為激光橢偏儀，CER組合式橢偏儀或反射膜厚儀FTPadvanced操作。比常規(guī)激光橢偏儀有更好的適應(yīng)性。

作為橢偏儀操作
　　單角度和多角度測量，可測量最多三層膜的厚度和光學(xué)參數(shù)，測量波長632.8nm，有最高的測量精度。
作為反射式膜厚儀FTPadvanced操作
　　白光正入射測量，可測量透明膜或弱吸收薄膜，厚度最大可達25μm。配置更先進的軟件FTPexpert后能夠測量多層膜。
作為CER組合橢偏儀操作
　　解決了透明膜的周期不確定性問題，并由于確定的膜厚周期，折射率測量精度顯著增加?？蓽y量透明膜的Cauchy系數(shù)。

技術(shù)指標(biāo):

Ψ,Δ精度，90°位置透射測量:	δ(Ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°
長時穩(wěn)定性:	δ(Ψ)=±0.01°, δ(Δ)=±0.1°
膜厚精度:	0.1 ? for 100 nm SiO2 on Si
折射率精度:	5×10-4 for 100 nm SiO2 on Si

精度定義為30次測量的標(biāo)準(zhǔn)差
長時穩(wěn)定性為90°位置時24小時內(nèi)測量的差值

選項
? 手動x-y樣品臺，行程50 mm
? Mapping地貌圖掃描 (x-y, 最大200 mm, 真空吸附)
? 攝像選項，用于樣品校準(zhǔn)和表面監(jiān)視
? 30 μm微細(xì)光斑
? 第二激光波長1550
? 自動對焦
? SIMULATION軟件