旋轉臺 |
直徑:0.01um~75um |
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旋轉精度:(0.04+6H/10000)um(H=Probing height測量高度) |
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旋轉速度:6rpm |
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工作直徑:150mm |
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中心范圍:±3mm |
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升降范圍:±1° |
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最大探測直徑:280mm |
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最大工件直徑:440mm |
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最大工件重量:20kg |
垂直圓柱 |
位移范圍:280mm |
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粗/微進給:粗進給 約30mm/rev 微進給 約1mm/rev |
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最大測量高度(OD):280mm |
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最大測量高度(ID):280mm |
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最大測量深度:100m2m(使用標準測頭時12AAB681) |
水平支臂 |
位移范圍:165mm |
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粗/微進給:粗進給 約30mm/rev 微進給 約1mm/rev |
空氣補給 |
空氣壓力:390kPa |
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空氣消耗:每分鐘45升(正常情況下) |
探頭與測針 |
測量范圍:±1000um |
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測量力:70至100mN(7至10gf) |
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測量方向:雙方向切換測頭 |
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標準測頭(12AAB681):硬質合金球ф1.6mm |
性能參數 |
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滿刻度范圍:±1000um、±500um、±200um、±100um、 |
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±50um、±20um、±10um、±5um |
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數字濾波:2CR-75%/50%,2CR-75%/50%(相位校正), |
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Gaussian-50% |
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截止值:低通:15upr,50upr,150upr,500upr |
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帶通:15-150upr,15-500upr,50-500upr |
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參考圓:LSC,MZC,MIC,MCC |
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資料分析項目:圓度、同心度、同軸度、圓周跳動、垂直度、 |
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壁厚偏差、平面度、平行度 |
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記錄陪率:5X-50000X(可按13段指定),自動 |
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數據采樣點:1800點/轉 |
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可測量截面?zhèn)€數:大于5 不大于100 |
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顯示:背光液晶LCD(尺寸120*90mm) |
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打印機:熱敏行式打印機 |
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軟盤驅動器:3.5″軟盤驅動器(內置) |
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電源供給:100V-240V AC,50/60Hz |
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電源消耗:40VA最大(不含PC) |
尺寸 |
主裝置: 660*415*620mm |
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空氣過濾裝置:210*130*190mm |
重量 |
主裝置:40kg |
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空氣過濾裝置:2kg |
標準附件 |
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1、標準測頭(12AAB681) |
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2、增益調整膜(350365) |
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3、用戶手冊 |
選配配件 |
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1、快速卡盤(211-032) |
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2、參考半球(211-016) |