產(chǎn)品描述:
大規(guī)模集成電路是在超凈環(huán)境下生產(chǎn)的。DY-EP-03是針對(duì)這種行業(yè)要求而設(shè)計(jì)的專用儀表。用于高純O2、H2、N2、Ar等氣體的計(jì)量,并達(dá)到EPS電子衛(wèi)生級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
·極寬的量程比,量程比大于100:1。
·精確測(cè)量氣體流量。
·管道全部采用304、316L等高級(jí)電子拋光管,內(nèi)外表面光亮如鏡,保證清掃后不留有有害物質(zhì)。
·儀表出廠時(shí)采用嚴(yán)格的衛(wèi)生處理和包裝,即用高純氮吹掃半小時(shí)后在保壓充高純氮條件密封。
·采用全焊接結(jié)構(gòu),保證在高壓下不泄漏和出廠前100%高壓N2檢漏。
·EPS電子衛(wèi)生級(jí)全部為精品級(jí)。
技術(shù)參數(shù):
精度±1%讀數(shù)+0.5%F.S
重復(fù)性 0.2%
口徑 Φ10—Φ200
流量范圍 0.05—60m/s
壓力范圍 <2MPa
溫度范圍 -25—125℃
環(huán)境溫度-25—80℃
供電24VDC? 220VAC
輸出 4-20mA,232,485接口
顯示 LED四位瞬時(shí)流量和八位累計(jì)流量
顯示單位 NM3/h、Kg/h、L/min、g/min
傳感器材質(zhì) 304不銹鋼、316不銹鋼
傳感器測(cè)量桿材質(zhì) 304不銹鋼、拋光
傳感器桿直徑 Φ19
法蘭材質(zhì) 304不銹鋼、電拋光
管道材質(zhì) 304不銹鋼、電拋光
結(jié)構(gòu)形式 一體化、分體
連接形式 法蘭、卡套、卡盤、對(duì)接螺紋等
防護(hù)等級(jí) IP65
電纜接口 分體G1/2、一體化G1/2、M20×1.5
報(bào)警輸出 1—2個(gè)繼電器干結(jié)點(diǎn)
檢漏壓力 2MPa
防爆標(biāo)準(zhǔn) ExdIICT4
累計(jì)流量計(jì)時(shí) 1周168小時(shí),手動(dòng)復(fù)位
安裝方向 自左向右、自右向左水平安裝
清洗 防油處理,高純氮吹掃
包裝 精制木質(zhì)儀表箱、充氮