項(xiàng)目 / 型式 |
SURFCOM 2000DX3/SD3 | |||||||||
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量測(cè)範(fàn)圍 |
Z 軸(縱方向) |
50mm/標(biāo)準(zhǔn)吊臂,10mm/2 倍吊臂 | ||||||||
X 軸(橫方向) |
100mm |
200mm | ||||||||
精度 |
Z 軸指示精度 |
±(2.5+|2H|/100)µm H:測(cè)量高度(mm) | ||||||||
測(cè)量解析度 |
0.8nm/0.5mm 測(cè)量範(fàn)圍,3.2nm/0.2mm 測(cè)量範(fàn)圍,8nm/0.5mm 測(cè)量範(fàn)圍,
16nm/1mm 測(cè)量範(fàn)圍,32nm/2mm 測(cè)量範(fàn)圍,80nm/5mm 測(cè)量範(fàn)圍 | |||||||||
X 軸指示精度 |
±(1.0+1L/100)µm (L:測(cè)量長(zhǎng)度 mm) | |||||||||
測(cè)量解析度 |
0.016µm | |||||||||
真直度精度 |
(0.05+1.0L/1000)µm L:量測(cè)長(zhǎng)度(mm) | |||||||||
感應(yīng)方式 |
Z 軸(縱方向):差動(dòng)變壓器 X 軸(橫方向):Moire 光柵尺 | |||||||||
速度 |
立柱上下速度(Z 軸) |
3~10mm/s | ||||||||
速度(X 軸) |
測(cè)量速度:0.03~20mm/s,移動(dòng)速度:最大 60mm/s | |||||||||
檢出器 |
測(cè)針、測(cè)量力 |
交換式 | ||||||||
測(cè)針半徑、材質(zhì) |
2µmR,(60°圓錐鑽石材質(zhì))0.75mN,25µmR (24°圓錐超硬)5mN 各 1 支標(biāo)準(zhǔn)付屬品 | |||||||||
移動(dòng)范圍 |
驅(qū)動(dòng)部行程 |
100mm |
200mm | |||||||
立柱上下動(dòng)行程 |
250mm |
450mm |
650mm |
250mm |
450mm |
650mm | ||||
平臺(tái) |
尺寸 |
600×320mm |
1000×450mm |
600×320mm |
1000×450mm | |||||
容許載重量 |
37kg |
28kg |
93kg |
84kg |
31kg |
22kg |
87kg |
78kg | ||
其它 |
設(shè)置尺寸 |
橫 |
1250mm |
1650mm |
1250mm |
1650mm | ||||
深 |
800mm |
900mm |
800mm |
900mm | ||||||
高 |
1480mm |
1680mm |
1880mm |
1480mm |
1680mm |
1880mm | ||||
質(zhì)量 |
225kg |
235kg |
420kg |
430kg |
230kg |
240kg |
425kg |
435kg | ||
電源、消耗電力 |
AC100V±10%(要接地)﹑50/60Hz / 670VA |