北京中儀友信科技有限公司是一個定位于高精產(chǎn)品開發(fā)生產(chǎn)以及銷售的公司,針對顯微鏡的檢測和測量,尤其在工業(yè)領(lǐng)域的顯微應用,依托國外的先進技術(shù),提供系統(tǒng)解決方案。公司推出了無窮遠光學系統(tǒng)設計的微分干涉顯微鏡SQ200,最大限度的減少光學元件對成像的影響。微分干涉顯微鏡現(xiàn)廣泛應用于電子行業(yè),特別適用當今日益發(fā)展的LCD行業(yè),對各類尺寸的液晶顯示屏的檢查尤為適合。普西森SQ200微分干涉顯微鏡配置偏振系統(tǒng)及微分干涉系統(tǒng),可實現(xiàn)COG中粒子及爆破檢測,可實現(xiàn)TAB檢測;具備起偏器和檢偏器,可做偏光檢測,在半導體和PCB檢測中,可消除雜光,細節(jié)更清楚;可加載微分干涉器,實現(xiàn)微分干涉觀察,在COG中,可清晰觀察3-5um的粒子;整個市場干涉色彩均勻;內(nèi)設偏振光和DIC,可建立諾曼爾斯基微分干涉襯比法系統(tǒng),可對LCD導電粒子檢查。SQ200還可配置8"×8"大型快速移動平臺,完全滿足8"以下的所有LCD、IC晶圓等大尺寸的快速檢測。獨創(chuàng)的快速移動功能和微移功能可實現(xiàn)樣品的粗、細檢查。
1952年,Nomarski在相差顯微鏡原理的基礎上發(fā)明了微分干涉差顯微鏡(differential interference contrast microscope),簡稱:DIC。?xml:namespace>
DIC顯微鏡又稱Nomarski相差顯微鏡(Nomarki contrast microscope),其優(yōu)點是能顯示結(jié)構(gòu)的三維立體投影影像。與相差顯微鏡相比,其標本可略厚一點,折射率差別更大,故影像的立體感更強。
DIC顯微鏡的物理原理完全不同于相差顯微鏡,技術(shù)設計要復雜得多。DIC利用的是偏振光,有四個特殊的光學組件:偏振器(polarizer)、DIC棱鏡、DIC滑行器和檢偏器(analyzer)。偏振器直接裝在聚光系統(tǒng)的前面,使光線發(fā)生線性偏振。在聚光器中則安裝了石英Wollaston棱鏡,即DIC棱鏡,此棱鏡可將一束光分解成偏振方向不同的兩束光(x和y),二者成一小夾角。聚光器將兩束光調(diào)整成與顯微鏡光軸平行的方向。最初兩束光相位一致,在穿過標本相鄰的區(qū)域后,由于標本的厚度和折射率不同,引起了兩束光發(fā)生了光程差。在物鏡的后焦面處安裝了第二個Wollaston棱鏡,即DIC滑行器,它把兩束光波合并成一束。這時兩束光的偏振面(x和y)仍然存在。最后光束穿過第二個偏振裝置,即檢偏器。在光束形成目鏡DIC影像之前,檢偏器與偏光器的方向成直角。檢偏器將兩束垂直的光波組合成具有相同偏振面的兩束光,從而使二者發(fā)生干涉。x和y波的光程差決定著透光的多少。光程差值為0時,沒有光穿過檢偏器;光程差值等于波長一半時,穿過的光達到最大值。于是在灰色的背景上,標本結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)出亮暗差。為了使影像的反差達到最佳狀態(tài),可通過調(diào)節(jié)DIC滑行器的縱行微調(diào)來改變光程差,光程差可改變影像的亮度。調(diào)節(jié)DIC滑行器可使標本的細微結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)出正或負的投影形象,通常是一側(cè)亮,而另一側(cè)暗,這便造成了標本的人為三維立體感,類似大理石上的浮雕。
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