SUPRA™系列產品配備有經過改進的第三代GEMINI®鏡筒、概念新穎的樣品臺、智能化硬件控制板和新型高效率的透鏡內二次電子探測器。
SUPRA™系列場發(fā)射掃描電子顯微鏡是卡爾蔡司半導體事業(yè)部的納米技術系統(tǒng)部向市場推出的功能最多的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。具有當前最先進的儀器所具有的所有特征:如在圖像質量一流時的超高分辨率、工作電壓切換方便、出色的束流穩(wěn)定性、全分析型樣品室、通過基于Windows® XP的SmartSEM™控制軟件實現(xiàn)簡便的操作等顯著特點。在研究和發(fā)展的應用中、失效分析和質量保證等方面,SUPRA™系列場發(fā)射掃描電子顯微鏡可提供迅速的、重復性好的、高可靠性的結果。
SUPRA™系列的多種儀器提供了全面的成像解決方案,可滿足半導體、材料分析、藥品制造和生命科學等領域中苛刻的應用要求。對于不導電樣品,采用專利可變壓力(VP)技術的增強型可變壓力二次電子探測器(VPSE)可以得到一流的圖像和分析結果。GEMINI®鏡筒具有無與倫比的成像能力,尤其是在工作電壓低于1kV時成像能力尤為出色,這就使得SUPRA™成為適合所有納米科學應用的成像工具。