真空泵是用某種方式在某一封閉空間中產生、改進和維持真空的裝置。

　　真空泵可以定義為：操縱機器、物理、化學或物理化學的方式對被抽容器舉行抽氣而的到真空的器件或配置。隨著真空應用的生長，真空泵的種類已生長了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到十-1二Pa以上的超高真空范圍。

　　由于真空應用部分所涉及的事變壓力的范圍很寬，因此任何一種范例的真空泵都小概完全實用于全部的事變壓力范圍，只可以根據不同的事變壓力范圍和不同的事變要求，利用不同范例的真空泵。為了利用方便和種種真空工藝進程的必要，偶爾將種種真空泵按其性可以要求組合起來，以機組型式應用。

　　通常操縱機器舉動(轉動或滑動)以的到真空的泵，稱為機器真空泵。機器真空泵按其事變道理及布局特點分述如下：

　　一、變容真空泵

　　它是操縱泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以到達抽氣目標的真空泵。氣體在排擠泵腔前被壓縮。這種泵分為來去式及旋轉式兩種。

　　1、往復式真空泵

　　操縱泵腔內活塞來去舉動，將氣體吸入、壓縮并排擠。又稱為活塞式真空泵。

　　2、旋片式真空泵

　　操縱泵腔內轉子零件的旋轉舉動將氣體吸入、壓縮并排擠。它大致有如下幾種分類：

　　1)、油封式真空泵：它是操縱真空泵油密封泵內各舉動零件之間的間隙，減少泵內有害空間的一種旋變化容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置。它重要包羅旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。

　　2)、液環(huán)真空泵：將帶有多葉片的轉子偏愛裝在泵殼內。當它旋轉時，把事變液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋變化容吸排氣腔。事變液體通常為水或油，以是亦稱為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵?！　?)、干式真空泵：它是一種泵內不消油類(或液體)密封的變容真空泵。由于干式真空泵泵腔內不必要事變液體，因此，實用于半導體行業(yè)、化學產業(yè)、制藥產業(yè)及食品行業(yè)等必要無油干凈真空情況的工藝場合。　　4)、羅茨真空泵：　　泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子。轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持肯定的間隙。

　　二、動量傳輸泵

　　它寄托高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，負氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸到出口。

　　分子真空泵

　　它是操縱高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之的到定向速率，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。

　　這種泵詳細可分為：

　　1)、牽引分子泵氣體分子與高速舉動的轉子相碰撞而的到動量，被驅送到泵的出口。

　　2)、渦輪分子泵：靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互共同來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下事變。

　　3)、復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。