產(chǎn)品特點(diǎn)
1.0nm(半最大值全波)光學(xué)解析度
200~1100nm波長范圍
快速建立和保存實驗方法
調(diào)制步驟編輯
調(diào)制步驟編輯工具可以使用戶簡單、快速地設(shè)置、建立和保存實驗方法。利用該工具可以對多數(shù)復(fù)雜的等離子體過程建立簡便而有效的步驟設(shè)置:例如測量薄膜沉積情況、監(jiān)測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測反常的污染和排放現(xiàn)象等。
用于簡單的等離子體診斷的多重工具
PlasCalc型監(jiān)控器配有操作軟件,所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數(shù)學(xué)和算法功能。我們同時提供一個可選配的放射波長數(shù)據(jù)庫,可以另外單獨(dú)購買,它能夠提供種類的鑒定;而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個窗口,可以同時顯示真實的光譜和所有控制過程信息。
產(chǎn)品規(guī)格:
光譜范圍 200~1100nm
光學(xué)解析度 1.0nm(半最大值全波)
數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換器 14 bit
數(shù)字輸入/輸出 8 x TTL
模擬輸出 4 x [0-10V]
連接方式 USB 1.1
電力消耗 12V直流電,1.25A
電力需求 90~240V交流電,50/60Hz
尺寸 257 mm x 152 mm x 263 mm
重量 5 kg
PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器
購買提示
1.閣下有任何產(chǎn)品問題請致電
400-663-9117.
2.中儀將提供
北京、上海、深圳、南京、重慶送貨上門服務(wù).
3.我們提供PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器計量送檢,在簽收前請詳細(xì)核查資料信息.
4.TY10PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器價格根據(jù)配置和貨期不同而不同,具體以合同為準(zhǔn).
5.我們?yōu)殚w下提供保修TY10PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器售后維修服務(wù),提供后期技術(shù)支持.
6.閣下對TY10PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器使用方法等有需求時,將為閣下找到PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器說明書.